這一突破為生命科學(xué)和醫(yī)療保健領(lǐng)域的可擴(kuò)展、高精度生物傳感應(yīng)用賦能

比利時(shí)魯汶2025年12月10日 /美通社/ -- 

• Imec 成功實(shí)現(xiàn)了首次在 300 毫米晶圓上利用 EUV 光刻技術(shù)進(jìn)行固態(tài)納米孔的晶圓級(jí)製造。這項(xiàng)創(chuàng)新將納米孔技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室規(guī)模的概念，轉(zhuǎn)化為用於生物傳感、基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)的可擴(kuò)展平臺(tái)。
• 納米孔被譽(yù)為基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)的顛覆性技術(shù)，但直到現(xiàn)在，由於變異性和整合方面的挑戰(zhàn)，固態(tài)納米孔從未實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。Imec 的突破為高通量、CMOS 兼容的生物傳感器陣列鋪平了道路，這有望加速個(gè)性化醫(yī)療、快速診斷和分子數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的發(fā)展。
• 利用 EUV 光刻技術(shù)在 300 毫米晶圓上進(jìn)行晶圓級(jí)納米孔製造，其孔徑小至約 10 納米，且在整個(gè)晶圓上具有高度一致性。該製造製程顯示出有望通過進(jìn)一步增強(qiáng)製程整合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)小於 5 納米的孔徑。電學(xué)和生物分子易位表徵顯示出高達(dá) 6.2 的訊噪比。
• 「Imec 擁有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)來實(shí)現(xiàn)這一飛躍。我們可以將傳統(tǒng)上用於記憶體和邏輯晶片的 EUV 光刻技術(shù)應(yīng)用於生命科學(xué)領(lǐng)域。透過利用我們的光刻基礎(chǔ)設(shè)施，我們證明了固態(tài)納米孔可以大規(guī)模製造，並具備分子傳感所需的精度。」Imec 第一作者兼研發(fā)項(xiàng)目經(jīng)理 Ashesh Ray Chaudhuri 表示，「這為醫(yī)療保健及其他領(lǐng)域的高通量生物傳感器陣列打開了大門?！?/li>

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完整新聞稿：https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography