在2025年韓國半導(dǎo)體展覽會(huì)上，Park Systems推出了擴(kuò)展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品，包括用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術(shù)的Park FX200 IR和FX300 IR。FX大型樣品AFM系列通過自動(dòng)化的探針識(shí)別與更換、二維碼系統(tǒng)以及AI驅(qū)動(dòng)的激光對準(zhǔn)功能，提升了可用性，實(shí)現(xiàn)了流暢操作。StepScan功能進(jìn)一步提高了效率，使研究人員能夠以最少的人工干預(yù)分析各種特性。（美通社）
